mocvd reaktor fűtése indukcióval
Az indukciós fűtésű fémorganikus kémiai gőzleválasztásos (MOCVD) reaktorok olyan technológia, amelynek célja a fűtési hatékonyság javítása és a gázbemenettel való káros mágneses csatolás csökkentése. A hagyományos indukciós fűtésű MOCVD reaktorok indukciós tekercsét gyakran a kamrán kívül helyezik el, ami kevésbé hatékony fűtést és potenciális mágneses interferenciát eredményezhet a gázellátó rendszerben. Friss … Tovább